設備名稱

RCA清洗機

用途

晶圓的RCA清洗

操作方式

手動/半自動/自動

適用領域

半導體材料、集成電路、MEMS、LED芯片、功率器件等

適用工藝

SC-1、SC-2、SPM、BOE、超聲（兆聲）清洗、QDR等；

清洗方式

槽式清洗

可清洗尺寸

2吋---12吋晶圓

主體材質

全不銹鋼框架，外包進口PP、PVC板

槽體材質

石英、PVDF、PTFE、NPP等

溫控精度

±1℃

安全防護

自動安全門、漏液報警、漏電保護、液位保護、急停、聲光報警系統(tǒng)

模塊化設計

滿足客戶多種工藝及產(chǎn)能的定制化要求

可編程菜單，方便用戶操作，直觀

實時流程顯示，可控性強

多級權限密碼，方便管理，安全可靠

自動保存生產(chǎn)數(shù)據(jù)

可實現(xiàn)遠程控制

可實現(xiàn)功能

藥液管理系統(tǒng)（自動供液、自動補液、循環(huán)過濾）、在線加熱、甩干、電導率檢測、恒溫系統(tǒng)、百級FFU等